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热处理设备及其热处理方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2018100840765
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2018100840765 | 专利名称 | 热处理设备及其热处理方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | |
| 申请人 | 申请地址 | ||
| 发明人 | 申请日期 | 2018-01-29 | |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-14 07:05:36 |
| 专利摘要 | 一种热处理设备及其热处理方法，所述热处理设备包括热处理腔体、热处理灯、用于放置晶圆的晶圆基座，还包括：遮光板，设置于所述热处理腔体内；遮光板控制部件，与所述遮光板耦接，所述遮光板控制部件带动所述遮光板移动至预设隔离位置，以阻隔所述热处理灯对所述晶圆的热辐射，或者带动所述遮光板移动至离开所述预设隔离位置，以使所述晶圆接受所述热处理灯的热辐射，所述预设隔离位置位于所述热处理灯和晶圆基座之间。本发明方案可以更精确地对晶圆接受所述热处理灯的热辐射的辐射量进行控制，从而提高半导体器件的品质。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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