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专利号	2018109396182	专利名称	一种光栅尺标定装置及标定方法
专利类型	发明专利	国际分类
申请人		申请地址
发明人		申请日期	2018-08-17
下证状态	未知	更新时间	2025-01-13 07:59:03
专利摘要	本发明提供一种光栅尺标定装置，包括运动台和测量装置，运动台处于封闭的微环境区域内，测量装置设置于运动台上；测量装置包括承载台；承载台上设置有4个读头，每个读头分别处于一四边形的顶点处；在每个读头的上方设置有一平面光栅；承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜，由第二平面延伸形成第四反射镜，承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜；测量装置还包括第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置，第一干涉仪与第一反射镜同侧设置；测量装置还包括两第三反射镜，第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜。

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	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
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卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件