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专利号	2018114491736	专利名称	基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件
专利类型	发明专利	国际分类
申请人	中国计量大学	申请地址
发明人	韩建强	申请日期	2018-11-21
下证状态	未知	更新时间	2025-01-13 07:53:42
专利摘要	本发明公开了一种基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。真空检测器件由多折叠支撑梁(1)、固定梳齿(2)和(3)、可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、阻尼墙(7)、衬底(8)、锚点(9)和焊盘(10)组成。固定梳齿(2)和(3)、阻尼墙(7)竖立在衬底(8)上。可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、多折叠支撑梁(1)悬浮在衬底(8)上方，并通过多折叠支撑梁(1)上的锚点(9)支撑在衬底(8)上。阻尼墙(7)布置在多折叠支撑梁(1)附近以增强压膜阻尼，使得这种基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件具有较高的测量灵敏度。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件