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一种具有二维电子气的单晶薄膜及其制备方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2021114909950
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2021114909950 | 专利名称 | 一种具有二维电子气的单晶薄膜及其制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C30B29/32(20060101),C30B23/02(20060101) |
| 申请人 | 电子科技大学长三角研究院(湖州) | 申请地址 | 浙江省湖州市西塞山路819号科技创新综合体B1幢 |
| 发明人 | 乔梁 | 申请日期 | 2021-12-08 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2026-09-13 17:18:22 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种具有二维电子气的单晶薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)将氧化镧和氧化钛前驱体粉末均匀混合后研磨，并用压片机压靶，在马弗炉中高温烧结后得到LaTiO<Sub>3</Sub>靶材；(2)清洗并刻蚀SrTiO<Sub>3</Sub>基片；(3)将LaTiO<Sub>3</Sub>靶材和处理后的SrTiO<Sub>3</Sub>基片一同放入脉冲激光沉积系统，在合适的条件下生长LaTiO<Sub>3</Sub>单晶薄膜；(4)在真空环境下，获得不同温度下的相同厚度的LaTiO<Sub>3</Sub>薄膜；(5)控制不同的氧压，在薄膜生长时能达到的真空度从高真空降到低真空，每隔一个数量级生长一个薄膜，制得不同氧压下的LaTiO<Sub>3</Sub>薄膜。本发明通过曲线可以看出薄膜与STO界面之间都存在二维电子气，使薄膜表现出金属性。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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