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一种自支撑柔性薄膜及其制备方法
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2021113194772
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2021113194772 | 专利名称 | 一种自支撑柔性薄膜及其制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C14/08(2006.01),C23C14/34(2006.01),C23C14/35(2006.01) |
| 申请人 | 电子科技大学长三角研究院（湖州） | 申请地址 | 313000 浙江省湖州市西塞山路819号科技创新综合体B1幢 |
| 发明人 | 乔梁 | 申请日期 | 2021-11-09 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-09-07 17:12:38 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种自支撑柔性LaNiO3薄膜的制备方法，包括以下步骤：（1）制备Sr3Al2O6靶材；（2）制备LaNiO3靶材；（3）清洗并刻蚀SrTiO3基片；（4）将Sr3Al2O6靶材、LaNiO3靶材和处理后的SrTiO3基片一同放入脉冲激光沉积系统，接着依次在SrTiO3衬底上外延生长出Sr3Al2O6和LaNiO3单晶薄膜；（5）在薄膜表面悬涂一层PMMA并加热，接着溶解；（6）PMMA和LaNiO3薄膜漂浮在水面上后，用Si片将其打捞并烘干；（7）将样品去除PMMA，取出后烘干，制得产品。Sr3Al2O6作为牺牲层用来得到柔性导电的LaNiO3薄膜，其具有质量高，简单快捷的特点。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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