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一种氮化镓纳米线阵列及其加工方法
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2022113784651
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2022113784651 | 专利名称 | 一种氮化镓纳米线阵列及其加工方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L21/306(2006.01),H01L33/00(2010.01),H01L33/32(2010.01),B82Y30/00(2011.01),B82Y40/00(2011.01) |
| 申请人 | 广东工业大学 | 申请地址 | 510062 广东省广州市越秀区东风东路729号 |
| 发明人 | 陈云 | 申请日期 | 2022-11-04 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-10-01 17:48:14 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种氮化镓纳米线阵列及其加工方法，包括以下步骤：A、在清洗后的氮化镓晶圆的上表面自组装单层聚苯乙烯纳米微球；B、在单层聚苯乙烯纳米微球的上表面溅射贵金属掩膜；C、去除聚苯乙烯纳米微球；D、金属辅助光化学刻蚀后清洗得到氮化镓纳米孔阵列；E、去除贵金属掩膜；F、无电极光电化学刻蚀后清洗得到氮化镓纳米线阵列。本技术方案提出的一种氮化镓纳米线阵列及其加工方法，通过无电极光电化学刻蚀在氮化镓纳米孔阵列的基础上得到氮化镓纳米线阵列，解决了现有氮化镓纳米线阵列的加工成本高、操作复杂的技术问题。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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