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一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
201710405569X
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 201710405569X | 专利名称 | 一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C14/34,C04B35/622,C23C14/08,C04B35/01,C04B35/64 |
| 申请人 | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 | 申请地址 | 安徽省合肥市新站区文忠路999号 |
| 发明人 | 张天舒;宋晓超;蒋卫国;钱邦正 | 申请日期 | 2017-06-01 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-09-07 17:12:38 |
| 专利摘要 | 本发明公开一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：取分散剂和粘接剂加入水中，搅拌均匀，用氨水调pH值至8～11，得预混液；所述分散剂重量比为1～2：1的柠檬酸和聚丙烯酸胺的混合物；向预混液中加入以化学共沉淀法制备的ITO粉体和烧结剂，再于球磨机中进行球磨，球磨后得到混合浆料，搅拌，抽真空除去浆料中的气泡；所述烧结剂由稀土氧化物、氮化钛和纳米GeO2组成；把铝制模装在石膏板上，将所得浆料注入铝制模中；吸浆成型后脱模干燥，得ITO坯体；干燥后的ITO坯体在常压纯氧气的气氛下烧结，得ITO靶材。与现有技术相比，本方法获得的产品致密度高、成本低、电阻率低及晶粒尺寸分布均匀。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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