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一种金属双极板表面纳米涂层的制备方法

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专利号 2023102943095 专利名称 一种金属双极板表面纳米涂层的制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 C23C14/34(2006.01),C23C14/50(2006.01),C23C14/54(2006.01),B82Y40/00(2011.01)
申请人 申请地址 215200 江苏省苏州市吴江区江陵街道庞金路777号
发明人 申请日期 2023-03-24
下证状态 已下证 更新时间 2026-09-09 17:08:05
专利摘要 本发明涉及燃料电池技术领域,尤其涉及一种金属双极板表面纳米涂层的制备方法,包括,步骤S1,清洗并固定基板、钛靶和石墨靶,在真空泵排气后,启动加热装置对涂层室进行调温;步骤S2,将所述旋转架接入负偏压并启动旋转电机,通过氩气口通入氩气,启动射频装置,进行溅射镀膜;步骤S3,通过实时图像与实时反射率调整旋转架的旋转速度,通过设置的中控模块判定是否完成镀膜;步骤S4,关闭射频装置并通过真空泵排气,再通过氮气口通入氮气,启动射频装置,进行溅射镀膜;步骤S5,通过中控模块重复所述步骤S3的判定操作,完成金属双极板基板表面纳米涂层的制备。本发明通过对双极板溅射镀膜过程进行控制,有效提高涂层均匀性。

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