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一种中心型极化拓扑畴的构建方法

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专利号 2022114034879 专利名称 一种中心型极化拓扑畴的构建方法
专利类型 发明专利 国际分类 C23C14/28(2006.01),C23C14/08(2006.01)
申请人 淮阴工学院 申请地址 223100 江苏省淮安市洪泽区东七街三号高新技术产业园A12-2(淮阴工学院技术转移中心洪泽分中心)
发明人 李忠文 申请日期 2022-11-10
下证状态 未知 更新时间 2026-09-09 17:08:05
专利摘要 本发明公开了一种中心型极化拓扑畴的构建方法,包括如下步骤:S1:脉冲激光沉积法制备BiFeO3薄膜样品,S2、以AAO为模板,氩离子束穿过AAO模板孔洞对薄膜进行刻蚀,获得高密度锥形“火山状”的纳米点阵列,并进行物相表征;S3、采用PFM表征对纳米点阵列获得自发的极化拓扑畴,通过PFM针尖电场写入将极化方向翻转,并对结果进行矢量PFM表征;S4、重组极化矢量获得三种不同类型的中心型极化拓扑畴。本发明构建了三种不同类型且更小的拓扑畴从而获得更高的存储密度,这种高密度、稳定、可调控的极化拓扑畴阵列可用于铁电随机存取存储器件。

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