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一种基于石墨烯的光电探测器

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专利号 2019106141059 专利名称 一种基于石墨烯的光电探测器
专利类型 发明专利 国际分类 H01L31/0232,H01L31/028,H01L31/09
申请人 三明学院 申请地址 福建省三明市三元区荆东路25号
发明人 崔积适 申请日期 2019-07-09
下证状态 已下证 更新时间 2026-09-07 17:12:38
专利摘要 本发明提供了一种基于石墨烯的光电探测器,包括:氧化物衬底层;硅波导层,形成于所述氧化物衬底层上;其中,所述硅波导层包括矩形硅波导以及微环形硅波导,所述微环形硅波导设置于所述矩形硅波导的第一侧,并与所述矩形硅波导形成微环谐振腔结构;石墨烯层,设置于所述硅波导层上,并覆盖所述矩形硅波导以及所述微环形硅波导;第一金属电极,设置于所述硅波导层的覆盖有所述石墨烯层的一侧,并位于所述石墨烯层上;第二金属电极,设置于所述硅波导层的未设置有所述石墨烯层的另一侧。本发明能在不延长吸收长度以及不影响带宽的前提下提高光电探测器的响应度。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
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办理文件副本请求书
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专利登记簿副本
买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
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卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

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