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一种MEMS微力-力矩传感器的标定装置及标定方法

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专利号 2020100743758 专利名称 一种MEMS微力-力矩传感器的标定装置及标定方法
专利类型 发明专利 国际分类 G01L25/00(20060101)
申请人 上海应用技术大学 申请地址 上海市奉贤区海泉路100号
发明人 李以贵 申请日期 2020-01-22
下证状态 未知 更新时间 2026-08-24 18:01:14
专利摘要 本发明涉及一种MEMS微力‑力矩传感器的标定装置,其特征在于,包括测试平台、设于测试平台上的纳米压痕仪、设于纳米压痕仪的放置平台上的斜面平台组件、以及与待测MEMS微力‑力矩传感器连接的模数转换电路和传感器供电电源;斜面平台组件包括若干个斜面倾斜角度不同的斜面平台元件;所述的待测MEMS微力‑力矩传感器为六轴传感器,包括传感器本体和与所述的传感器本体连接的立柱;所述的传感器本体固定于所述的斜面平台元件的斜面上;所述的纳米压痕仪的施力杆与所述的立柱在竖直方向上对齐。与现有技术相比,本发明具有成本低,标定精度高等优点。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
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专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
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卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

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