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一种基于LTCC天线的等离子体密度测量传感器

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专利号 2019104379240 专利名称 一种基于LTCC天线的等离子体密度测量传感器
专利类型 发明专利 国际分类 H01Q1/22,H01Q1/38,H01Q1/48,H01Q1/50,H01Q1/52,H05H1/00
申请人 申请地址 江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号
发明人 申请日期 2019-05-24
下证状态 未知 更新时间 2026-08-24 18:01:14
专利摘要 本发明公开了一种基于LTCC天线的等离子体密度传感器,其结构总共分为三层,包括上下两层LTCC介质层,以及在LTCC介质板表面镶嵌金属铜贴片、接地板、金属通孔的中间层。中间层可以分为三部分,其中在介质LTCC的上表面有馈电结构、金属贴片,下表面有接地板、金属贴片,上下表面通过金属通孔连通。将天线放置在一个球形的等离子体内部,当等离子体的密度发生变化时,该天线的谐振频率发生规律的变化,通过该天线装置进行测量等离子体的密度。通过选择适当大小的介质板、金属贴片和馈电结构,以及它们的位置,可以在一定范围内让天线的谐振频率随等离子体密度发生有规律的变化,从而完成对等离子体密度的测量。

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卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
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