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专利号	2024102862302	专利名称	一种易于剥离的钙钛矿型钡钽氮氧化物薄膜制备方法
专利类型	发明专利	国际分类	C23C 14/30 (2006.01),C23C 14/08 (2006.01),C23C 14/58 (2006.01),C23C 14/06 (2006.01)
申请人	电子科技大学	申请地址	四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号
发明人	李严波,王家盛	申请日期	2024-03-13
下证状态	未知	更新时间	2026-09-15 17:19:02
专利摘要	本发明属于光(电)化学水分解光电极薄膜材料的制备剥离技术领域，具体涉及一种易于剥离的钙钛矿型钡钽氮氧化物薄膜制备方法，依次采用了双源电子束沉积法、高温氮化法、以及机械剥离法制备得到BaTaO2N纳米颗粒薄膜。制备过程中，通过调控双源电子束沉积过程中NbOx沉积的薄膜厚度以及最佳Ba/Ta原子比和沉积的薄膜厚度，实现从石英基底上的完整剥离，工艺重复性较高，无需采用氧化物前驱体粉末制备且最终制得的BaTaO2N薄膜具备了更多应用的可能性。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
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