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专利号	2023110454476	专利名称	一种碳化硅连续长晶装置及长晶工艺
专利类型	发明专利	国际分类	C30B 23/00 (2006.01),C30B 29/36 (2006.01)
申请人	南通罡丰科技有限公司	申请地址	江苏省南通市南通高新区金桥西路一号聚恒工业园12号
发明人	奚衍罡,王洁,李海飞,马嘉骏	申请日期	2023-08-18
下证状态	未知	更新时间	2026-09-15 17:19:02
专利摘要	本发明提供一种碳化硅连续长晶装置及长晶工艺，包括生长室、容纳装置、翻转长晶装置等装置，翻转长晶装置包括承载板以及籽晶连接工件，在碳化硅气相生长的过程中，控制翻转长晶装置间断转动，碳化硅晶棒能够在两个籽晶连接工件两侧交替连续长出，在生长的过程提拉承载板朝着第二导料开口方向移动，能够将第一个碳化硅晶棒从第二导料开口处提拉进行取料，第二个碳化硅晶棒在底端的籽晶连接工件表面连续生成，完成碳化硅晶棒的交替连续生长，提高了碳化硅晶棒生长的效率。该发明能够实现碳化硅晶棒的连续生长，极大地提高了碳化硅晶棒的生长效率。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
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