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节能高效的PECVD反应炉管装置
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2022104429129
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2022104429129 | 专利名称 | 节能高效的PECVD反应炉管装置 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C16/44(2006.01),C23C16/458(2006.01),C23C16/46(2006.01),C23C16/50(2006.01) |
| 申请人 | 青岛科技大学 | 申请地址 | 266000 山东省青岛市崂山区松岭路99号 |
| 发明人 | 潘家敬 | 申请日期 | 2022-04-25 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2026-09-15 17:19:02 |
| 专利摘要 | 本发明属于管式PECVD设备。为解决上述的PECVD恒温时间过长、转化效率低的问题，本发明提供一种节能高效的PECVD反应炉管装置，包括外侧炉体、加热炉体、纤维保温圈、电磁感应加热装置、石墨舟、推杆、支撑杆及法兰盘，所述法兰盘设置在外侧炉体的上下两端，法兰盘与外侧炉体之间设置纤维保温圈，所述支撑杆设置在加热炉体内，石墨舟设置在支撑杆上，所述电磁感应加热装置的电磁感应线圈环绕石墨舟设置；所述推杆包括上推杆和下推杆，下推杆上设置放置槽，上推杆伸出炉管的两端，下推杆位于炉管内。本发明通过电磁感应加热，升温速度快，通过电磁感应的磁场分布增强化学气相沉积，提高转化效率。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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