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专利号	2021108356438	专利名称	一种旋喷一体化涂层的制备方法及装置
专利类型	发明专利	国际分类	C23C4/12(2016.01),C23C4/02(2006.01)
申请人	常州大学	申请地址	213164 江苏省常州市武进区滆湖路1号
发明人	张伟	申请日期	2021-07-23
下证状态	已下证	更新时间	2026-09-15 17:19:02
专利摘要	一种旋喷一体化涂层的制备方法及装置，属于涂层制备技术领域。包括电源及控制系统和电机，还包括靶材、电极和基体，靶材为圆盘状，电机输出端与靶材中心轴连接，用于驱动靶材做高速旋转，靶材与电源及控制系统中电源的一极连接，电极和基体与电源的另一极连接，电极为板式电极，电极斜设于靶材的切向且与靶材之间的距离可调，电极低端指向靶材，电源及控制系统中控制系统分别与靶材、电极和基体连接，用于控制靶材、电极和基体的移动，电源与电机和控制系统电连接。本发明所述装置和方法，可以一次性完成基体材料表面的粗化、涂层的制备、厚度控制和表面质量改善，适用于所有导电材料涂层的制备，操作简单、可靠、成本低。

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