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一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备及其沉积方法
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2019108500249
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2019108500249 | 专利名称 | 一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备及其沉积方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C16/54,C23C16/24,C23C14/56,C23C14/08,C23C14/34,H01L31/20 |
| 申请人 | 苏州帕萨电子装备有限公司 | 申请地址 | 江苏省苏州市太仓市城厢镇锦州路18号2幢 |
| 发明人 | 宋银海 | 申请日期 | 2019-09-10 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-09-15 17:19:02 |
| 专利摘要 | 本发明涉及一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备及其沉积方法，它包括：沉积组件，所述沉积组件包括依次连接的第一L/L腔室、第一本征I层沉积腔室、P型掺杂非晶硅薄膜沉积腔室、第一转换腔室、第二本征I层沉积腔室、N型掺杂非晶硅薄膜沉积腔室、第二转换腔室、PVD腔室以及第二L/L腔室，各腔体之间采用真空锁结构连接；输料组件，所述输料组件用于硅片的进料和出料，包括安装在所述沉积组件两端以及其各腔体内的输料单元。通过在沉积组件的两端以及其各腔体内安装输料单元，能够实现硅片的自动化进料和出料，从而提高了其自动化程度和生产效率。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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