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一种利用针尖电场在铁电薄膜中构建周期性条带畴的方法

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专利号 2020111716947 专利名称 一种利用针尖电场在铁电薄膜中构建周期性条带畴的方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01L43/12(2006.01)
申请人 淮阴工学院 申请地址 223003江苏省淮安市经济技术开发区枚乘东路1号
发明人 李忠文 申请日期 2020-10-28
下证状态 未知 更新时间 2026-10-21 19:08:11
专利摘要 本发明公开了一种利用针尖电场在铁电薄膜中构建周期性条带畴的方法,属于微纳结构技术领域,通过脉冲激光沉积技术生长铁酸铋薄膜,低氧压的生长条件保证了薄膜中含有缺陷,利用的电场,是在压电力显微镜的针尖上施加偏压产生的针尖电场;薄膜中的面外、面内极化在针尖电场作用下同时翻转、重新定向,形成纳米尺度的高密度周期性条带畴;构建的条带畴具有良好的稳定性,可用于高密度铁电随机存取存储器。本发明使用的制备方法,脉冲激光沉积技术成熟,基于扫描探针显微镜的矢量压电力显微技术操作简单,具备很好的实用性。  

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