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专利号	201910135033X	专利名称	一种近零膨胀薄膜材料及其制备方法
专利类型	发明专利	国际分类	C23C14/06,C23C14/35,C23C14/58
申请人	盐城工学院	申请地址	江苏省盐城市亭湖区希望大道中路1号
发明人	温永春	申请日期	2019-02-19
下证状态	已下证	更新时间	2026-09-09 17:08:05
专利摘要	本发明公开了一种近零膨胀薄膜材料，其分子式为Mn3InC1+x，由锰、锡、碳三种元素组成，其原子比基本为Mn:In:C＝3:1:（1+x）,其中（x＝‑0.2～0.1）,其晶体结构为钙钛矿结构。本发明所述薄膜材料在220K‑330K较宽温度范围内具有近零热膨胀性能，该材料负热膨胀性能是各向同性的，具有良好热导性，结构稳定，该材料电阻率为3.45×10‑7Ω·m，在合金材料的电阻率范围，且原料便宜，制备相对简单，在制备与使用时都非常环保。

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