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一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2018100920755
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2018100920755 | 专利名称 | 一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C14/08,C23C14/35,C23C18/12,C23C28/04 |
| 申请人 | 陕西深蓝机电工程有限公司 | 申请地址 | 陕西省咸阳市渭城区文林路文林佳苑3号商住楼2单元4层3号 |
| 发明人 | 卢靖 | 申请日期 | 2018-01-30 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-09-15 17:19:02 |
| 专利摘要 | 一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法，将Co3O4薄膜放入磁控溅射仪的样品台，TiO2靶材放入射频靶位，向镀膜室通入Ar气，设置TiO2射频靶位的电源功率为100W～400W，溅射时间为5min～60min，溅射同时对样品台加热，加热温度为500℃～700℃，溅射完成后，得到二氧化钛/四氧化三钴复合薄膜。本发明制备出的薄膜在可见光激发条件下对环境湿度非常灵敏，并且工艺可控性强、薄膜的组成、结构、性能易于调控，光激发下湿敏性突出。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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