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专利号	2018109333592	专利名称	一种质量厚度为700-1400μg/cm自支撑锗薄膜及其制备方法
专利类型	发明专利	国际分类	C23C14/06,C23C14/02,C23C14/32
申请人	广州本康环保科技有限公司	申请地址	广东省广州市高新技术产业开发区科学大道72号C2栋首层、二层、三层绿地国际创客中心办公卡位A176
发明人	欧志清	申请日期	2018-08-16
下证状态	已下证	更新时间	2026-09-15 17:19:02
专利摘要	本发明公开了一种大尺度自支撑锗薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底表面沉积氯化钠脱模剂；（2）采用90度磁过滤阴极真空弧（FCVA）系统在衬底表面沉积氧化铝缓冲薄膜；（3）将样品旋转180°，采用直管磁过滤阴极真空弧（FCVA）系统再次沉积锗薄膜；（4）将得到的衬底放入盛有乙醇溶液的容器中进行脱模处理；（5）用打捞板将锗薄膜捞起，得到质量厚度为700‑1400μg/cm2自支撑锗薄膜。采用本发明可以制备出质量厚度为700‑1400μg/cm2、具有低应力、均匀且致密的自支撑锗薄膜，且工艺简单。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件