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气相沉积装置及氧化亚硅的制备方法
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2018100591052
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2018100591052 | 专利名称 | 气相沉积装置及氧化亚硅的制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C16/40,C23C16/448,C23C16/46,C23C16/56 |
| 申请人 | 新特能源股份有限公司 | 申请地址 | 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区（新市区）甘泉堡高新技术产业园 |
| 发明人 | 银波 | 申请日期 | 2018-01-22 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-08-13 17:45:22 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种气相沉积装置及氧化亚硅的制备方法，气相沉积装置，包括炉体、设置于炉体内的加热腔室、设置于炉体外的沉积腔室，气相沉积装置还包括：进料机构、刮取机构、设置于炉体外的收集腔室，收集腔室包括第一阀门，第一阀门用于控制沉积腔室与收集腔室之间通道的开闭。本发明中的气相沉积装置，通过关闭收集腔室入口处的第一阀门，可在线将收集腔室收集到的沉积产物排出，使得气相沉积装置内的气相沉积反应可以连续在线进行，且出料时不影响气相沉积反应。本发明与现有技术相比，能实现连续生产，从而降低了能耗，提高了产能，提高了生产效率。且沉积比较充分，物料损失少，收集的产品具有较高的质量稳定性，能够满足市场大规模的需求。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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