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专利号	2019108931998	专利名称	高密封性高度可调电极
专利类型	发明专利	国际分类	C23C 16/50 (2006.01),C23C 16/52 (2006.01)
申请人	皖西学院	申请地址	安徽省六安市云露桥西月亮岛
发明人	杨永亮,李娜,张泓筠,陈亮,莫秋燕,付秀华,尤恩沃德尔	申请日期	2019-09-20
下证状态	已下证	更新时间	2026-09-07 16:03:53
专利摘要	本发明公开了高密封性高度可调电极，主要涉及气相沉积技术领域。包括电极总成，所述电极总成包括电极盖板、绝缘体、锁紧环、电极架、电极冷却接口和电极体；还包括位移驱动装置总成；所述位移驱动装置总成包括外驱动件、内表面设置内螺纹的内从动轮、外护壳、与外护壳固定的支撑环、内部中空且外侧顶端设置外螺纹的传动管；所述外驱动件驱动内从动轮的转动，所述内从动轮的内螺纹与传动管顶端的外螺纹传动连接。本发明的有益效果在于：摒弃了现有的波纹管技术，采用新的技术实现电极的高度可调，而且解决了采用波纹管技术所带来的一系列不足，无需在设备上开固定孔、密封孔就可接入其他设备；而且增加了辐射泄露防护技术。

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