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一种多孔二氧化钛薄膜的制备方法

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专利号 2013106778163 专利名称 一种多孔二氧化钛薄膜的制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 C23C14/02,C23C14/18,C23F4/00,C23C14/08,C23C14/35
申请人 Hubei Ping'an Film Materials Co ltd 申请地址 山东省济南市市中区南辛庄西路336号
发明人 冷金凤;周庆波;初梅军;滕新营;耿浩然 申请日期 2013-12-13
下证状态 已下证 更新时间 2026-07-09 16:37:40
专利摘要 本发明涉及一种多孔二氧化钛薄膜的制备方法,包括如下步骤:以空心玻璃微珠作为基体,以Cu-Zn或Cu-Mn合金作为靶材,磁控溅射设备沉积Cu-Zn或Cu-Mn合金薄膜;采用酸性或碱性溶液进行脱合金化处理,后进行去离子水清洗至中性,再真空干燥;干燥后包裹多孔铜的玻璃微珠,磁控溅射设备表面沉积二氧化钛,制备出多孔二氧化钛。本发明制备的多孔二氧化钛薄膜增大二氧化钛的表面积,在紫外光照射下有更好的催化性能,可以在废水处理、空气净化及光催化领域有更好的应用前景。

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身份证
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