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MEMS热电堆传感器的测试方法及系统
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2021112846209
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2021112846209 | 专利名称 | MEMS热电堆传感器的测试方法及系统 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01K15/00ICN111928957A,2020.11.13,CN111562484A,2020.08.21,CN106770445A,2017.05.31,JP2016130698A,2016.07.21,JP2007232665A,2007.09.13,CN105424200A,2016.03.23王会强等.MEMS热电堆高温测试系统中的MEMS传感器动态性能测试.《计量与测试技术》.2 |
| 申请人 | 江苏创芯海微科技有限公司 | 申请地址 | 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112 |
| 发明人 | 石梦 | 申请日期 | 2021-11-01 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 08:54:05 |
| 专利摘要 | 本发明涉及一种MEMS热电堆传感器的测试方法及系统。其包括微区光源以及显微成像系统，通过显微成像系统能观测到待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置放大后的区域状态信息，并能根据所观察放大后的区域状态信息将微区光源产生的激光仅入射到待测试MEMS热电堆传感器内所选择的区域位置；利用微区光源对待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置进行所需的激光辐照后，采集待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置在相应激光辐照下的输出电压。本发明微区光源能精准定位，并实现对热电堆不同区域部位的直接辐照，以能获取热电堆不同区域部位的输出状态，从而为MEMS热电堆传感器的优化设计提供依据和指导。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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