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悬臂梁热电堆及其制备方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2020110225276
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2020110225276 | 专利名称 | 悬臂梁热电堆及其制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L35/32,H01L35/34,H01L27/16 |
| 申请人 | 江苏创芯海微科技有限公司 | 申请地址 | 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112 |
| 发明人 | 戴鑫 | 申请日期 | 2020-09-25 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 08:42:31 |
| 专利摘要 | 本发明涉及一种悬臂梁热电堆及其制备方法。其包括热电堆单体，所述热电堆单体包括衬底以及红外敏感体结构；红外敏感体结构包括器件支撑层、热绝缘层、吸收层以及包裹于热绝缘层与吸收层内的热偶，所述热偶包括若干交替排布的N型热电材料体以及P型热电材料体，所述N型热电材料体与P型热电材料体通过热电材料连接体依次串接；在所述衬底内的上部设置衬底腔，所述衬底腔从衬底的正面向所述衬底的背面方向延伸；位于所述衬底腔正上方的热偶形成热电堆热端区，位于所述衬底腔外的热偶形成热电堆冷端区。本发明结构紧凑，采用悬臂梁结构，降低热导，提高了热电堆的性能，制备工艺与现有IC工艺兼容，降低工艺复杂度以及制备成本，安全可靠。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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