发明专利
专利类型未知
专利状态2018100213561
专利号| 专利号 | 2018100213561 | 专利名称 | 一种硅片双面处理装置 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B24B27/033,B24B41/00,B24B41/06,B24B47/20,B24B51/00,B24B55/06 |
| 申请人 | 池州市星聚信息技术服务有限公司 | 申请地址 | 安徽省池州市贵池区江口街道通港大道89号 |
| 发明人 | 崔羽 | 申请日期 | 2018-01-10 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 08:28:48 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种硅片双面处理装置,包括底座、第一伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、下模板、上模座、过渡条、滑动吸取机构、进气通道、进气管、托架、直线模组、立板、调速电机、弹性机构、磨头、支架、转轴、第二伺服电机、第一齿轮、第二齿轮、夹取机构、清洁机构,将硅片直接置于定位槽内,滑动吸取机构将硅片吸紧,第一伺服电机驱动上模座前移,调速电机带动磨头转动,直线模组带动磨头移动,完成硅片“扫描”时磨洗,第二伺服电机带动硅片翻转180°,从而对硅片下表面进行磨洗处理。该装置结构简单,能对硅片的正反两面进行自动磨洗处理,而且通过“扫描”式磨洗,能对硅片表面各个地方进行均匀磨洗,提高表面处理质量。 | ||

| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||


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