欢迎来到中细软旗下技术转移平台

我的成果我的需求在线客服

服务热线:400-700-0065

一种转动拉升式晶圆干燥机

  • 发明专利

    专利类型
  • 未知

    专利状态
  • 2019110920794

    专利号
免费询价 在线咨询
收藏

专利信息

数据仅供参考,具体信息可联系在线顾问

专利号 2019110920794 专利名称 一种转动拉升式晶圆干燥机
专利类型 发明专利 国际分类
申请人 兰泽(荆门)智能科技有限公司 申请地址
发明人 杨运军 申请日期 2019-11-11
下证状态 未知 更新时间 2025-05-27 08:12:06
专利摘要 本发明涉及干燥机技术领域,具体涉及一种转动拉升式晶圆干燥机,包括底座、立板、链轮组件、驱动件以及链条;所述固定机构包括转动臂、转盘以及固定座;所述固定座与链条固定连接;所述立板在链条的顶部设有止转板;所述立板在链条的底部设有旋转导板;所述底座设有水槽;所述水槽内设有喷气机构。本发明通过改变喷口构形,可以方便地对气流参数进行调节,保证干燥效果;通过转盘带动挂具机构在清洗过程中旋转,可以利用挂具机构对水流的搅动作用,提高清洗效果;在晶圆片提拉过程中,伴随挂具机构转动使得挂具机构的周向位置均可被气流覆盖,避免了干燥死角和积水点,提高干燥效果。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
企业 个人 专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

优质专利推荐

一种靶向泛素化诱导BCR-ABL蛋白降解的化合物及其应用

专利状态:未知

专利类型:发明专利

询价

一种用于测定线圈可动磁芯移动的位移传感器

专利状态:未知

专利类型:发明专利

询价

一种按摩牵引凳

专利状态:已下证

专利类型:实用新型

询价

背包(塑形)

专利状态:已下证

专利类型:外观专利

询价
品类齐全,快速响应
专业顾问一对一服务
服务流程追踪更安全

登录成功

您的咨询我们已收到,稍后会有专业顾问与您联系。