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专利号	2019110920794	专利名称	一种转动拉升式晶圆干燥机
专利类型	发明专利	国际分类
申请人	兰泽(荆门)智能科技有限公司	申请地址
发明人	杨运军	申请日期	2019-11-11
下证状态	未知	更新时间	2025-05-27 08:12:06
专利摘要	本发明涉及干燥机技术领域，具体涉及一种转动拉升式晶圆干燥机，包括底座、立板、链轮组件、驱动件以及链条；所述固定机构包括转动臂、转盘以及固定座；所述固定座与链条固定连接；所述立板在链条的顶部设有止转板；所述立板在链条的底部设有旋转导板；所述底座设有水槽；所述水槽内设有喷气机构。本发明通过改变喷口构形，可以方便地对气流参数进行调节，保证干燥效果；通过转盘带动挂具机构在清洗过程中旋转，可以利用挂具机构对水流的搅动作用，提高清洗效果；在晶圆片提拉过程中，伴随挂具机构转动使得挂具机构的周向位置均可被气流覆盖，避免了干燥死角和积水点，提高干燥效果。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件