发明专利
专利类型未知
专利状态2019110920794
专利号专利号 | 2019110920794 | 专利名称 | 一种转动拉升式晶圆干燥机 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | |
申请人 | 兰泽(荆门)智能科技有限公司 | 申请地址 | |
发明人 | 杨运军 | 申请日期 | 2019-11-11 |
下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-05-27 08:12:06 |
专利摘要 | 本发明涉及干燥机技术领域,具体涉及一种转动拉升式晶圆干燥机,包括底座、立板、链轮组件、驱动件以及链条;所述固定机构包括转动臂、转盘以及固定座;所述固定座与链条固定连接;所述立板在链条的顶部设有止转板;所述立板在链条的底部设有旋转导板;所述底座设有水槽;所述水槽内设有喷气机构。本发明通过改变喷口构形,可以方便地对气流参数进行调节,保证干燥效果;通过转盘带动挂具机构在清洗过程中旋转,可以利用挂具机构对水流的搅动作用,提高清洗效果;在晶圆片提拉过程中,伴随挂具机构转动使得挂具机构的周向位置均可被气流覆盖,避免了干燥死角和积水点,提高干燥效果。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
专利状态:未知
专利类型:发明专利
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专利类型:实用新型
询价专利状态:已下证
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