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专利号	2023222035587	专利名称	一种集成电路表面氧化处理装置
专利类型	实用新型	国际分类	H01L 21/67 (2006.01),B08B 15/02 (2006.01),F26B 21/00 (2006.01)
申请人	西洁微（上海）电子有限公司	申请地址	上海市静安区江场路1401弄14号301-7室
发明人		申请日期	2023-08-16
下证状态	未知	更新时间	2025-01-14 07:45:48
专利摘要	本实用新型提供一种集成电路表面氧化处理装置，包括底座和带式输送机，所述底座顶部的四周均固定连接有支撑杆，四个支撑杆的顶端之间固定连接有顶板，所述底座顶部的前侧和后侧均固定连接有安装板，两个所述安装板的顶部之间固定连接有氧化箱，所述带式输送机固定连接于底座的顶部且位于氧化箱的正下方，所述氧化箱的两侧相互连通，所述带式输送机内部的传送带依次贯穿氧化箱的两侧，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过升降防护罩对喷洒的氧化溶剂进行遮罩，不会出现溶剂四溅的现象，降低了环境污染面积，提高了车间加工环境安全，关闭喷洒组件和一个升降防护罩。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件