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一种二维亚微米蝶形金属微结构的飞秒激光直写制备方法

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  • 2017101681526

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专利号 2017101681526 专利名称 一种二维亚微米蝶形金属微结构的飞秒激光直写制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 B23K26/362,B23K26/067,B23K26/064
申请人 商丘师范学院 申请地址 河南省商丘市平原中路55号
发明人 乔红贞 申请日期 2017-03-21
下证状态 未知 更新时间 2025-01-14 07:34:46
专利摘要 本发明公开了一种二维亚微米蝶形金属微结构的飞秒激光直写制备方法,技术方案包括以下步骤:第一步,金属靶样品材料的抛光和安装;第二步,可变延迟时间的线偏振和角向偏振双脉冲飞秒激光的获取;第三步,双脉冲飞秒激光的点聚焦;第四步,金属靶样品材料位置的调节;第五步,物镜焦点位置的确定;第六步,金属靶样品材料表面的调整;第七步,二维亚微米蝶形金属微结构的制备;本发明通过巧妙利用微纳米加工平台的分光方法形成两个同色共线传输、时间延迟可调的线偏振和角向偏振飞秒激光脉冲,采用物镜点聚焦方式,方便快速地在金属表面直写制备出条纹方向弯曲的二维亚微米蝶形金属微结构。

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