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专利号	201811338615X	专利名称	用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法
专利类型	发明专利	国际分类	C23C14/08,C23C14/35
申请人	河北北方学院	申请地址	河北省张家口市高新区钻石南路11号
发明人	王延峰	申请日期	2018-11-12
下证状态	未知	更新时间	2025-01-14 07:09:15
专利摘要	用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法，本发明涉及透明导电氧化物薄膜技术领域；以低掺杂比例三氧化二铝和氟化镁共掺杂氧化锌为靶材；在去离子水中混入电子清洗液，利用超声清洗机对玻璃衬底清洗10min，然后再放入去离子水中超声清洗10min，最后用N2吹干；将清洗干净的玻璃衬底放入真空腔室，然后对腔室进行抽真空处理，待真空度小于5×10‑5Pa，向腔室通入氩气，调节腔内溅射气压，达到预设值；开启溅射电源进行预溅射处理5min，然后开始在玻璃衬底沉积ZnO薄膜。提高薄膜在紫外和近红外区域的透过率，该ZnO薄膜具有低电阻率、高宽光谱透过率、性能稳定的特点。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
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