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一种晶圆切割装夹设备
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2021113401467
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2021113401467 | 专利名称 | 一种晶圆切割装夹设备 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B28D 5/00 (2006.01),B28D 5/04 (2006.01) |
| 申请人 | 中山市海晶电子有限公司 | 申请地址 | 广东省中山市坦洲镇龙塘二路1号1-2层 |
| 发明人 | 申请日期 | 2021-11-12 | |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-14 07:06:04 |
| 专利摘要 | 本发明属于晶圆加工领域，尤其涉及一种晶圆切割装夹设备,包括底盘，底盘上固设有环形槽，底盘上表面中心处固设有第一伸缩套，环形槽内滑动设有滑动杆，滑动杆上端固设有吸附模块，第一伸缩套内滑动设有第一伸缩杆，第一伸缩杆上端固设有转动球，转动球上固定连接有第二伸缩套，第二伸缩套内滑动设有第二伸缩杆，第二伸缩杆远离转动球一端固设有电机，电机圆柱面固设有固定环，固定环远离第二伸缩杆一侧转动设有滑动壳体，滑动壳体内滑动设有夹持杆，夹持杆之间夹持有晶圆，固定环内设有动力模块，滑动壳体内设有倒角驱动模块，夹持杆内设有倒圆角模块，环形槽和滑动杆之间设有动力转换模块，吸附模块壳体内设有吸附模块。可对晶圆进行倒角夹持。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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