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一种用于切割晶片的刀具及切割方法

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专利号 2019104006828 专利名称 一种用于切割晶片的刀具及切割方法
专利类型 发明专利 国际分类 B28D5/02,B28D7/00,H01L21/78
申请人 申请地址 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
发明人 申请日期 2019-05-15
下证状态 未知 更新时间 2025-01-14 07:05:36
专利摘要 本发明涉及一种用于切割晶片的刀具,包括:第一刀片,其具有由具有第一尺寸的颗粒物制成的表面;第二刀片,其布置在第一刀片的第一侧,使得第二刀片至少部分地覆盖第一刀片的第一侧,其中所述第二刀片具有由具有第二尺寸的颗粒物制成的表面并且其中第二尺寸小于第一尺寸;以及第三刀片,其布置在第一刀片的第二侧,使得第三刀片至少部分地覆盖第一刀片的第二侧,其中所述第三刀片具有由具有第三尺寸的颗粒物制成的表面,并且其中第三尺寸小于第一尺寸。通过本发明,可以有效地避免应力损伤半导体器件或其所在衬底,从而提高芯片的良率和可靠性。

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企业组织机构代码证
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卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
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