发明专利
专利类型未知
专利状态2021105557416
专利号专利号 | 2021105557416 | 专利名称 | 利用等离子体制备纳米结构过渡金属氮化物薄膜的方法 |
---|---|---|---|
专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C14/32(2006.01),C23C14/02(2006.01),C23C14/06(2006.01),C01B21/06(2006.01) |
申请人 | 申请地址 | 610106四川省成都市外东十陵镇 | |
发明人 | 申请日期 | 2021-05-21 | |
下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-14 07:03:08 |
专利摘要 | 利用等离子体制备纳米结构过渡金属氮化物薄膜的方法,采用等离子体设备作为制备的装置,制备的流程包括五个步骤。本发明以氮气代替氨气或有毒含氮有机物为氮源,更经济环保,还避免了使用氨气时带来爆炸的危险;在密闭真空条件下进行制备,避免了大量氮气的浪费,还使得反应过程更加洁净;使用过渡金属单质作为原料,在其表面原位生成纳米结构及氮化物层,步骤简单,更为重要的是所得氮化物薄膜性质更加稳定;利用等离子体轰击金属表面实现纳米结构的形成以及氮化物层的合成,反应快速(时间<1小时),且无需外部加热,避免了电能的大量浪费。本发明合成的纳米氮化物薄膜层尺寸可调、成分过渡均匀且基底‑氮化物层结合更紧密,因此应用价值高。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
---|---|---|---|---|
企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
专利状态:已下证
专利类型:发明专利
询价专利状态:已下证
专利类型:发明专利
询价专利状态:已下证
专利类型:发明专利
询价专利状态:已下证
专利类型:发明专利
询价您的咨询我们已收到,稍后会有专业顾问与您联系。