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一种单晶颗粒薄膜及其气体传感器的制备方法

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专利号 2019102343668 专利名称 一种单晶颗粒薄膜及其气体传感器的制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 B05D1/00(2006.01),B05D5/00(2006.01),B05D1/38(2006.01),B05D7/24(2006.01),G01N27/407(2006.01)
申请人 岭南师范学院 申请地址 524037 广东省湛江市赤坎区寸金路29号
发明人 张军 申请日期 2019-03-26
下证状态 未知 更新时间 2025-01-13 08:01:13
专利摘要 本发明涉及半导体材料与器件技术领域,更具体地,涉及一种单晶颗粒薄膜及其气体传感器的制备方法,包括选取钼玻璃作为衬底,选取单晶颗粒在去离子水中搅拌分散,待单晶颗粒沉淀后,缓缓抽干容器中的去离子水,取出钼玻璃片烘干,得到单晶颗粒薄膜。采用该单晶颗粒薄膜制备气体传感器,将制备好的单晶颗粒薄膜在真空中进行第一次退火,利用液相法在单晶颗粒薄膜制备ZnO薄膜层,将制备了ZnO层的CZTS薄膜在真空中进行第二次退火,利用银浆在ZnO层上制备电极,得到气体传感器。工艺简单、操作方便、成本低廉,所制备的气体传感器对气体展现出气敏性能。

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卖方 企业营业执照
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身份证
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