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一种制备氮铝共掺杂p型氧化锌薄膜的方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2015101864532
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2015101864532 | 专利名称 | 一种制备氮铝共掺杂p型氧化锌薄膜的方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C14/00(2006.01),C23C14/08(2006.01),C23C14/35(2006.01) |
| 申请人 | 申请地址 | 524048广东省湛江市赤坎区寸金路29号 | |
| 发明人 | 申请日期 | 2015-04-20 | |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-13 08:00:28 |
| 专利摘要 | 本发明提供了一种制备氮铝共掺杂p型氧化锌薄膜的方法。本发明方法包括如下步骤：S1.以高纯锌作为靶材，在靶面上放置高纯铝片，所述靶材上方放置有衬底，且衬底与靶材间的距离可调，通入高纯氮气进行射频磁控反应溅射，制备得到含铝氮化锌薄膜作为前驱体；S2.前驱体制备完成后，抽真空，通入高纯氧气对前驱体薄膜进行原位低压氧化，制备得到氮铝共掺杂p型氧化锌薄膜。本发明在优化了前驱体性能的前提下，提高了薄膜中活性氮的含量，从而增加空穴载流子的浓度和迁移率，降低氧化锌薄膜电阻率，制备得到的氮化锌薄膜电阻率低至10.84W×cm，载流子浓度达到+4.65×1018cm‑3，光学带隙在3.27eV，薄膜结晶状态和光学性质良好。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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