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一种晶圆横向抓取移动机构
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2020108539006
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2020108539006 | 专利名称 | 一种晶圆横向抓取移动机构 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L 21/677 (2006.01),H01L 21/683 (2006.01) |
| 申请人 | 武汉驿天诺科技有限公司 | 申请地址 | 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷三路777号5号电子厂房1层北面区域02室（自贸区武汉片区） |
| 发明人 | 申请日期 | 2020-08-24 | |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-13 07:55:36 |
| 专利摘要 | 本发明公开一种晶圆横向抓取移动机构，包括固定底板，所述固定底板的顶面中部固定有竖直支撑板，竖直支撑板的前壁面上固定有直线电机，直线电机的滑动块上固定有连接块，连接块的底面上固定有横向水平板，横向水平板的顶面上固定有横向无杆气缸，横向无杆气缸的底部移动块插套在横向水平板的中部成型有的横向通槽中，底部移动块的底面伸出横向通槽并固定有连接板，连接板上安装有延伸连接板，延伸连接板的右端顶面固定有旋转伺服电机。本发明可以安装在晶圆的储存放置处于加工台处于同一直线上的设备中，其可以直接将储存放置处的晶圆抓取移动至加工台上，其抓取方便，效率高，而且制作成本低。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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