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一种晶圆放料盒取料辅助机构

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专利号 2020108538997 专利名称 一种晶圆放料盒取料辅助机构
专利类型 发明专利 国际分类 H01L 21/673 (2006.01),H01L 21/677 (2006.01)
申请人 株洲鸿亿龙实业有限公司 申请地址 湖南省株洲市云龙示范区总部经济园区E4栋201、202号
发明人 申请日期 2020-08-24
下证状态 未知 更新时间 2025-01-13 07:55:36
专利摘要 本发明公开一种晶圆放料盒取料辅助机构,包括安装水平板,所述安装水平板的顶面的左部顶面固定有连接板,连接板的顶面的前部和后部均固定有侧固定板,两个侧固定板的内侧壁上成型有前后对应的放置凹槽,晶圆放置在对应的两个放置凹槽中。本发明可以自动将晶圆往外推送,方便抓取机构直接抓取而不会触碰其他晶圆,使得其取料时具有一定误差时,也不会触碰其他晶圆,保证加工效果。

交易流程

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买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
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卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
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