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基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2018110346023
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2018110346023 | 专利名称 | 基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01P15/097(2006.01) |
| 申请人 | 中国计量大学 | 申请地址 | 310018浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号中国计量大学 |
| 发明人 | 韩建强 | 申请日期 | 2018-08-27 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-13 07:53:42 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计的结构、制作方法及工作原理，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于谐振式加速度计由双股叉型谐振梁（1）、激励电阻（2）、压敏电阻（3）、蟹腿型支撑梁（4）、质量块（5）、框架（6）、金属内引线（7）组成，质量块（5）的重心位于蟹腿型支撑梁（4）的中性面内。本传感器在检测原理方面的特征在于在平行于芯片表面的加速度作用下，双股叉型谐振梁（1）的轴向应力变化，从而改变其谐振频率，通过检测谐振频率的变化就可以得到加速度的大小和方向。相对于双端固支直梁谐振器，基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计具有更大的检测灵敏度。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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