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专利号	2016105413762	专利名称	一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法
专利类型	发明专利	国际分类	H01L35/32,H01L35/34
申请人	中国计量大学	申请地址	浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号中国计量大学
发明人	韩建强	申请日期	2016-07-01
下证状态	未知	更新时间	2025-01-13 07:53:42
专利摘要	本发明公开了一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一硅片(1)上的加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)组成。加热电阻(2)通电后产生并辐射的热量引起双端固支梁(3)温度升高，进而改变双端固支梁(3)的轴向应力，最终使双端固支梁(3)的谐振频率降低。通过测量双端固支梁(3)的谐振频率的变化就可以测量出加载在加热电阻(2)上的输入电压或电流的大小。本发明所涉及的薄膜热电变换器具有以下优点：加热电阻(2)、双端固支梁(3)、激励电极(4)和检测电容(5)制作在同一硅片(1)上，简化了器件封装工艺。

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	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
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卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件