欢迎来到中细软旗下技术转移平台

服务热线：400-700-0065

节能环保新能源新材料高端制造生物产业数字创意

免费询价在线咨询

专利号	2016104699796	专利名称	一种氮化铁薄膜的制备方法
专利类型	发明专利	国际分类	C23C14/58,C23C14/34,C23C14/08
申请人	中国计量大学	申请地址	浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号
发明人	李静	申请日期	2016-06-26
下证状态	未知	更新时间	2025-01-13 07:53:29
专利摘要	本发明涉及一种氮化铁薄膜的制备方法。该方法是采用激光脉冲沉积的方法，通过控制沉积温度、时间和氧气流量，来制备氧化铁薄膜；通入氢气，在300~400℃还原4‑20h，以获得铁薄膜；通入氨气，在120~200℃氮化1~30h；氮化过程中施加磁场，诱导氮化铁的取向，磁场强度0.1~2T；降温，随炉冷却至室温，取出样品，即可获得氮化铁薄膜。该方法可以直接获得高α"‑Fe16N2含量的氮化铁薄膜，有利于薄膜器件的集成应用，此外采用磁场热处理的方法，使薄膜氮化时产生晶体学取向，方便的控制薄膜的晶体学易磁化轴。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件