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纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构

  • 实用新型

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  • 2022215579197

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专利信息

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专利号 2022215579197 专利名称 纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构
专利类型 实用新型 国际分类 B01F27/906,B01F27/191,B01F35/75,F16F15/067
申请人 合肥长天化学技术有限公司 申请地址 安徽省合肥市肥东县梁园镇合肥上海产业园原路口政府大院内
发明人 谢长义 申请日期 2022-06-21
下证状态 未知 更新时间 2025-01-13 07:36:52
专利摘要 本实用新型公开了纳米晶圆研磨液混搅筒出料缓冲结构,包括混搅筒主体,所述混搅筒主体的下表面设置有出料管,所述出料管的下端设置有中继管,所述中继管的内部设有活塞板,所述活塞板的右侧壁设置有连接杆,所述连接杆的右端延伸至中继管的外部并设有往复机构,所述出料管和中继管的内部分别设置有第一电磁阀和第二电磁阀,通过设置左端为锥型筒结构的中继管,能够在第一电磁阀开启后,混搅筒主体内部的研磨液通过出料管流入中继管内部,中继管管壁承受冲击力,同时中继管内的底部留余部分研磨液,对补充至中继管内部的研磨液起到缓冲作用,研磨液通过第二电磁阀缓慢流入盛放容器内部,防止研磨液流速过快损坏盛放容器。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
企业 个人 专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

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