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输气管道及制程废气处理系统
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实用新型
专利类型 -
未知
专利状态 -
202021708320X
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 202021708320X | 专利名称 | 输气管道及制程废气处理系统 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 实用新型 | 国际分类 | F16L9/14,F16L58/02,F16L53/38,F17D1/07,F17D3/01,B01D53/00 |
| 申请人 | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 | 申请地址 | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 发明人 | 刘玉祥 | 申请日期 | 2020-08-14 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-13 07:24:10 |
| 专利摘要 | 本实用新型提供一种输气管道及制程废气处理系统，涉及半导体制程废气处理领域。本实用新型通过在管道本体的管道内壁上涂覆保护膜层，形成新型的用于输送制程设备所产生的制程废气的输气管道，使制程废气在该输气管道内传输的过程中仅与表面光滑的保护膜层接触，确保废气输送导流平滑，不产生气体凝滞，降低制程废气在管道内的留存率，避免制程废气对管道本体造成影响，延长管道使用寿命。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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