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一种晶圆切割进料装置

  • 实用新型

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  • 2021226812383

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专利信息

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专利号 2021226812383 专利名称 一种晶圆切割进料装置
专利类型 实用新型 国际分类 H01L21/677(2006.01),H01L21/304(2006.01)
申请人 苏州微邦电子有限公司 申请地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区娄葑北区扬东路58号
发明人 潘潘 申请日期 2021-11-04
下证状态 已下证 更新时间 2026-07-10 15:07:51
专利摘要 本实用新型涉及晶圆技术领域的一种晶圆切割进料装置,包括驱动电机,所述驱动电机的一侧安装有导轨,所述导轨的外表面套接有滑块,所述滑块的底端安装有气缸,所述气缸的底端设置有安装柱,所述安装柱的底端设置有吸盘,所述吸盘的顶端固定连接有吸盘连接套,所述安装柱的底端延伸至吸盘连接套的内部,所述吸盘连接套卡合套接在安装柱的外表面。通过设计的安装在安装柱两侧的按压块、固定板、卡块和复位弹簧便于对吸盘进行拆卸,在吸盘长时间使用后磨损严重或损坏时可快速的进行更换,大大了节省了维修人员的时间,通过按压按压块即可将吸盘连接套和安装柱发生分离,操作便捷,使用方便,且连接牢固。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
企业 个人 专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
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专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
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企业组织机构代码证
身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

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