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一种硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2018111867189
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2018111867189 | 专利名称 | 一种硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | |
| 申请人 | 湖南文理学院 | 申请地址 | |
| 发明人 | 龙永福 | 申请日期 | 2018-10-12 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-10 07:57:22 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法，该方法是将常规双槽腐蚀时使用两个圆形平板薄铂片作为电极，且在两个平行电极之间放置硅片，硅片轴线、两个圆形平板薄铂片轴线三者重合，硅片离左、右两个电极的距离相等，硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分；采用恒流源对硅片进行电化学腐蚀形成圆柱形多孔硅薄膜；然后将硅基圆柱形的多孔硅膜浸入氢氧化钠溶液中，并以圆柱形的多孔硅薄膜的中心轴为自旋转轴旋转圆柱形多孔硅，导致在多孔硅圆柱表面形成由多孔硅材料构成的单面凸透镜。通过本发明的方法，能获得纳米多孔硅单面凸透镜，能广泛应用于微机电系统，为微机光电系统领域作出了重大的贡献。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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