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基于贴面换位原理调整半导体硅棒的夹持进给机构

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专利号 2019105921265 专利名称 基于贴面换位原理调整半导体硅棒的夹持进给机构
专利类型 发明专利 国际分类 B24B41/02
申请人 江苏泓顺硅基半导体科技有限公司 申请地址 江苏省盐城市大丰区凤阳路8号沪苏大丰产业联动集聚区管委会大楼
发明人 刘良国 申请日期 2019-07-03
下证状态 未知 更新时间 2025-01-10 07:45:22
专利摘要 本发明公开了基于贴面换位原理调整半导体硅棒的夹持进给机构,其结构包括固定地脚、主机、控制器、立臂、夹持机构、加工平台、散热槽。本发明夹持机构通过夹持立柱将硅棒主体进行固定,而后平行导套将同步拉杆定位,从而使覆面机构能够与硅棒主体右侧贴合,根据覆面机构能够判断硅棒主体的平整度,最终带动立切机构进行同步移动,确保在加工过程中能够根据平整度进行实时调整,以达到及时的进给补偿,有效避免打磨切割过程中出现部分面域接触不到的现象,提高了加工的精准度,确保后续硅片切割后的圆度。  

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
企业 个人 专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

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