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偏振复用相位调制型激光自混合二维干涉仪及其测量方法

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  • 201710027793X

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专利号 201710027793X 专利名称 偏振复用相位调制型激光自混合二维干涉仪及其测量方法
专利类型 发明专利 国际分类 G01B9/02
申请人 申请地址 江苏省南京市鼓楼区宁海路122号
发明人 申请日期 2017-01-16
下证状态 未知 更新时间 2025-01-09 14:13:55
专利摘要 本发明公开了偏振复用相位调制型激光自混合二维干涉仪及其测量方法,二维干涉仪包括:输出圆偏振光的双频激光器,偏振分光棱镜,放置在o偏振态光轴上的普通分光棱镜、电光晶体调制器、光线密度滤波器、待测目标,放置在e偏振态光轴向电光晶体调制器、光线密度滤波器、另一个待测目标,以及信号采集和相位计算系统,信号采集和相位计算系统根据采集的光强信号进行谐波分析和相位解调得出被测目标相位和位移。因两个电光相位调制的频率截然不同,它可以有效避免频谱混叠现象;由于两个偏振光均为线偏振光,激光散斑效应小,相移技术使得解调结果的分辨率达纳米级别。

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