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并行周向连续式等离子体镀膜装置

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  • 2018100185114

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专利信息

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专利号 2018100185114 专利名称 并行周向连续式等离子体镀膜装置
专利类型 发明专利 国际分类 C23C14/56
申请人 温州职业技术学院 申请地址 浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器
发明人 郎文昌;高斌;刘伟 申请日期 2018-01-09
下证状态 未知 更新时间 2023-06-10 08:26:36
专利摘要 本发明涉及一种并行周向连续式等离子体镀膜装置,其包括工艺腔体、回转腔体、进料系统、真空系统、物料车,工艺腔体内设置有多组工艺组件密封板、周向分布的多组储料腔、回转装置、物料引导装置,回转腔体设置有回转伸缩装置、物料传导装置、物料腔,进料口设置有可开合的密封门板,真空系统分别对工艺腔体与回转腔体的组合体、进料口进行真空处理,物料车上可装载树形单挂物料,工艺腔体内可形成独立真空室并独立进行工艺处理,回转装置可实现物料车的传动及自转,回转腔体内的物料腔可与储料腔及进料口形成密封的独立真空室并实现物料车传导,进料系统可将物料取出及放入。采用上述方案,本发明可实现批量单挂物料并行连续式镀膜生产。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
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专利权转让协议
办理文件副本请求书
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专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
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卖方 企业营业执照
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身份证
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