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化学气相沉积法在FeS表面生长MoS的冷却系统
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
2018100901523
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2018100901523 | 专利名称 | 化学气相沉积法在FeS表面生长MoS的冷却系统 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C16/30,C23C16/46 |
| 申请人 | 申请地址 | 山西省太原市迎泽西大街79号 | |
| 发明人 | 申请日期 | 2018-01-30 | |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-08-13 17:45:23 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种化学气相沉积(CVD)法在FeS2表面生长MoS2的冷却系统，以解决CVD法在FeS2基底上生长MoS2过程中对FeS2实时冷却的技术问题。该冷却系统包括冷却器、第Ⅰ外管、第Ⅱ外管、第Ⅲ外管、进水管、回水管、两个管接头、连接法兰、两个连接套筒、两个支腿和FeS2承载架。该冷却系统可以在热反应炉的石英管内对FeS2进行降温冷却，且具有冷却温度可调节、成本低、易于安装等优点。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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