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一种夹层结构透明导电薄膜及其制备方法
院校-
发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2016100364755
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2016100364755 | 专利名称 | 一种夹层结构透明导电薄膜及其制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B32B15/04;C23C14/35;B32B15/20;C23C14/18;C23C14/08;H01B5/14 |
| 申请人 | 东莞理工学院 | 申请地址 | 广东省东莞市松山湖科技产业园区大学路1号东莞理工学院 |
| 发明人 | 吴木营;何林;杨雷 | 申请日期 | 2016-01-20 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2023-05-11 08:25:02 |
| 专利摘要 | 本发明涉及功能薄膜材料的技术领域，特别是涉及一种夹层结构透明导电薄膜及其制备方法，该透明导电薄膜为BaSnO3/Cu/BaSnO3的夹层结构，即包括依次层叠的BaSnO3薄膜层、Cu薄膜层和BaSnO3薄膜层。该夹层结构透明导电薄膜的制备方法包括：步骤一，将BaSnO3靶材和Cu靶材装入磁控溅射系统的腔体内；步骤二，在衬底上进行沉积得到BaSnO3薄膜层；步骤三，在BaSnO3薄膜层上溅射Cu薄膜层；步骤四，在Cu薄膜层上溅射BaSnO3薄膜层，制得夹层结构透明导电薄膜。该夹层结构透明导电薄膜具有成本低、电阻率低、导电性能好、厚度薄、化学稳定性好、且与衬底之间的吸附性强的优点。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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